特許

J-GLOBAL ID：200903022330714769

投影露光装置

発明者： 鈴木 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204285
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029181
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 投影露光装置における照明系の寿命の延長を図り、もって装置の稼働率の向上を図る。【構成】 照明光を連続的に出射する照明光源1と、該照明光を露光位置まで導く照明光学系2,4〜11,14,15と、照明光路内に配置され露光シーケンス中だけ開く露光用シャッター13とを具備する投影露光装置において、該露光用シャッターとは別に、前記照明光学系の全部または大部分および露光用シャッターより前記照明光源側の照明光路内に配置され露光シーケンスに先立って開き、露光シーケンス終了後に閉じる第2シャッター3を設ける。

請求項（抜粋）：

照明光を連続的に出射する照明光源と、該照明光を露光位置まで導く照明光学系と、照明光路内に配置され露光シーケンス中だけ開く露光用シャッターと、該露光用シャッターとは別に、前記照明光学系の全部または大部分および露光用シャッターより前記照明光源側の照明光路内に配置され露光シーケンスに先立って開き、露光シーケンス終了後に閉じる第2シャッターとを具備することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S