特許
J-GLOBAL ID：200903022336900939
X線光学素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063790
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273596
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 重元素層と軽元素層とを交互に積層して構成されるブラッグ回折効果を有する多層膜分光反射鏡などの多層膜分光素子において、平滑で整った形状の多層膜からなり、軟X線反射率が高く耐熱性に優れた多層膜分光素子を提供する。【構成】 重元素層と軽元素層とを交互に積層して構成されるブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子において、重元素層にCoもしくはCoを主成分とするCo化合物を用いたX線光学素子。
請求項（抜粋）：
重元素層と軽元素層とを交互に積層して構成されるブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子において、上記重元素層はCoもしくはCoを主成分とする化合物よりなることを特徴とするX線光学素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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