特許

J-GLOBAL ID：200903022344039568

反射防止コーティング組成物及びその製造方法

発明者： クリストファー・ジョン・ノース ,  エルウッド・ハーバート・メイシー ,  ウェイン・マーティン・モロー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158296
公開番号（公開出願番号）：特開平6-075378
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、フォトリソグラフィ技術における露光工程で反射防止層として働く高分子染料の組成物と、その製造方法を提供することにある。【構成】 本発明の組成物は、1つまたは複数のアミノ芳香族発色団と、アンハイドライド基を有する重合体との反応生成物を含む。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのアミノ芳香族発色団と、アンハイドライド基を含む重合体とのイミド反応生成物を含む、皮膜形成組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/11 503 ,  C08F 8/32 MHL ,  C09D 5/00 PPQ ,  C09D133/26 PFW ,  G02B 1/10 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-180360
  
• 特開昭60-088939
  
• 特開平4-051518
  
• 特開平4-225356