特許

J-GLOBAL ID：200903022348342648

研磨シート及びその製造方法

発明者： 大門 英夫 ,  酒本 章人 ,  水村 哲夫 ,  小川 容一
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056433
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254324
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】【課題】 安価に製造することができ、取扱性に優れた新規な研磨シートを提供する。【解決手段】 可撓性基板の一方の表面上に下地層を有し、該下地層の表面上にダイヤモンドライクカーボン層を有する研磨シート。ダイヤモンドライクカーボン層は連続巻き取り式CVD装置により前記下地層上に成膜される。

請求項（抜粋）：

可撓性基板の一方の表面上に下地層を有し、該下地層の表面上にダイヤモンドライクカーボン層を有する、ことを特徴とする研磨シート。

IPC (2件)：

B24D 11/00 ,  B24D 3/00 310

FI (3件)：

B24D 11/00 B ,  B24D 11/00 Q ,  B24D 3/00 310 F

Fターム (9件)：

3C063AA03 ,  3C063AB07 ,  3C063BB01 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063BG24 ,  3C063CC11 ,  3C063EE01 ,  3C063EE26