特許

J-GLOBAL ID：200903022361317555

基板回転装置

発明者： 篠崎 弘行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-173689
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351874
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 半導体デバイスの配線幅(デザインルール)0.1〔μm〕以下の製造に要求される装置性能を満たし、回転駆動と支持の各力を復号・集積し、扁平且つ小型化が可能な基板回転装置を提供すること。【解決手段】 被処理基板3を搭載する基板ホルダ4、基板ホルダ4を支持するリング状ロータ7、該リング状ロータ7を非接触で浮上支持する位置制御用巻線13、回転駆動する回転駆動巻線12を具備し、位置制御用巻線13と回転駆動巻線12を磁性体からなる1枚のステータヨークプレート6に設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を搭載する基板ホルダ、該基板ホルダを直接又は間接的に支持し回転する回転体、該回転体を磁気力で非接触で浮上支持する磁気浮上手段、該回転体を磁気力で回転駆動する磁気回転手段を具備する基板回転装置であって、前記磁気浮上手段と前記磁気回転手段は一体化されたユニット構造であり、該ユニット内には前記回転体に回転力を与える回転磁界を発生する回転磁界発生コイルと、該回転体を所定の位置に浮上支持する磁界を発生する位置制御磁界発生コイルを具備し、該回転磁界発生コイルと位置制御磁界発生コイルを磁性体からなる1枚のヨークプレートに設けたことを特徴とする基板回転装置。

IPC (11件)：

H01L 21/26 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/48 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68 ,  H02K 7/09 ,  H02K 21/14

FI (11件)：

C23C 14/50 J ,  C23C 16/48 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 R ,  H01L 21/68 N ,  H02K 7/09 ,  H02K 21/14 M ,  H01L 21/26 Q ,  H01L 21/302 B

Fターム (48件)：

4K029CA17 ,  4K029EA00 ,  4K029JA02 ,  4K029JA08 ,  4K030CA04 ,  4K030GA05 ,  4K030GA06 ,  4K030GA08 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F004BB24 ,  5F004BC08 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA09 ,  5F031HA33 ,  5F031HA38 ,  5F031HA59 ,  5F031JA01 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA45 ,  5F031LA04 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EM10 ,  5F103AA08 ,  5F103BB38 ,  5H607AA00 ,  5H607BB01 ,  5H607BB07 ,  5H607BB09 ,  5H607BB14 ,  5H607BB20 ,  5H607BB21 ,  5H607CC01 ,  5H607GG21 ,  5H607HH01 ,  5H607HH03 ,  5H607HH09 ,  5H607KK03 ,  5H607KK04 ,  5H607KK07 ,  5H621BB07 ,  5H621BB10 ,  5H621HH01 ,  5H621JK19 ,  5H621PP05