特許

J-GLOBAL ID：200903022361420933

線状波動励起型検査・評価装置及び方法

発明者： 星宮 務
出願人/特許権者： 星宮 務
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-120913
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265823
出願日： 2004年03月20日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】固体試料表面または表面下における欠陥の有無、ならびに欠陥そのものを非破壊的に検出する手段を提供する。【解決手段】固体試料表面に超音波ビームや光ビームを用いて線状の波動を励起し、それを試料表面にわたって走査して励起した波動の反射や拡散を検出する事により、試料の表面または表面下に欠陥が存在するか否かと一様な構造中のどこに欠陥が判断するかを、信号の大きさによって速やかに判断できる機能を有し、CTの技法と組み合わせる事によって映像化をも可能とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パルスあるいは断続する光ビーム(2)を固体試料(1)表面に線状に照射し、当該固体(1)における光吸収を利用して表面に線状の熱源を発生させ、それによって生じた固体試料中に発生する熱弾性波や、固体と接している気体や液体中に発生する音波を圧電素子(3)やマイクロフォン(4)等の検出器により検出し、線状の光ビームを試料表面にわたって走査し、発生する信号の大きさや位相変化などの情報から点状の波動の励起を1点1点行う場合よりも速やかに欠陥の有無を検査するか又は試料濃度の不均一さなどを評価する機能を有する装置及び方法。

IPC (4件)：

G01N29/00 ,  G01N21/00 ,  G01N21/88 ,  G01N29/20

FI (4件)：

G01N29/00 501 ,  G01N21/00 A ,  G01N21/88 Z ,  G01N29/20

Fターム (31件)：

2G047AA05 ,  2G047BC03 ,  2G047BC08 ,  2G047BC09 ,  2G047BC15 ,  2G047CA01 ,  2G047CA04 ,  2G047EA09 ,  2G047GA01 ,  2G047GB25 ,  2G047GD01 ,  2G047GD02 ,  2G047GG28 ,  2G047GG29 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BC06 ,  2G051BC07 ,  2G051CA01 ,  2G051DA01 ,  2G051EA12 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE16 ,  2G059FF02 ,  2G059FF03 ,  2G059HH05 ,  2G059KK08 ,  2G059MM09