固定砥粒ワイヤソー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261770
公開番号（公開出願番号）：特開平11-099465
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】ガイドローラやグルーブローラに生じる磨耗を抑制することができる固定砥粒ワイヤソーの提供。【解決手段】ガイドローラ20とグルーブローラ22の表面を、固定砥粒付ワイヤ14の表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングする。これにより、ガイドローラ20とグルーブローラ22の耐磨耗性が向上する。

請求項（抜粋）：

一対のワイヤリール間を複数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び/又はグルーブローラの表面を、前記固定砥粒付ワイヤの表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングしたことを特徴とする請求項1記載の固定砥粒ワイヤソー。

IPC (3件)：

B24B 27/06 , B28B 5/04 , B28D 1/08

FI (3件)：

B24B 27/06 G , B28B 5/04 , B28D 1/08

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