特許
J-GLOBAL ID:200903022365681260

磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-037024
公開番号(公開出願番号):特開平7-244142
出願日: 1994年03月08日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【目的】構成を複雑化することなく、しかも充分なダイナミックレンジを確保しつつ、微小磁界での高感度化を図ること。【構成】磁場の強さに応じて磁化の向きが磁化容易方向と磁化困難方向との間で変化する強磁性金属薄膜を用いたセンサパターンを備える磁気センサにおいて、前記強磁性金属薄膜が正の磁歪定数を持つ場合、前記センサパターンの磁化困難方向に継続的な引っ張り応力を加え、又は、前記センサパターンの磁化容易方向に継続的な圧縮応力を加える。
請求項(抜粋):
磁場の強さに応じて磁化の向きが磁化容易方向と磁化困難方向との間で変化する強磁性金属薄膜を用いたセンサパターンを備える磁気センサにおいて、前記強磁性金属薄膜が正の磁歪定数を持つ場合、前記センサパターンの磁化困難方向に継続的な引っ張り応力を加え、又は、前記センサパターンの磁化容易方向に継続的な圧縮応力を加えられたことを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件):
G01R 33/09 ,  H01L 43/08

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