特許
J-GLOBAL ID：200903022375667931
多連式センサおよびウエハセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永田 良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282869
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111816
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】この発明は、ケースから櫛歯状に多数突出する検出素子を一つずつ交換できるように構成して、検出素子の復旧作業性を容易にし、しかもセンサ復旧時の低コスト化を図った多連式センサおよびウエハセンサの提供を目的とする。【解決手段】この発明は、ケース内部に投光素子と受光素子を内蔵し、ケース外部に投光素子の光を検知領域を介して受光素子に導く検出素子の多数を櫛歯状に突出形成した多連式センサであって、上記ケースに検出素子を個別に着脱して取付け許容する着脱手段を備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ケース内部に投光素子と受光素子を内蔵し、ケース外部に投光素子の光を検知領域を介して受光素子に導く検出素子の多数を櫛歯状に突出形成した多連式センサであって、上記ケースに検出素子を個別に着脱して取付け許容する着脱手段を備えた多連式センサ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01J 1/42
, H01H 35/00
H01L 21/68 L
, G01J 1/42 N
, H01H 35/00 N
