ポリマーシートの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：梶山佶是 , 山本富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021720
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214798
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】貫通穴を形成する際、“バリ”を生じないポリマーシートの製造方法を提供する。【解決手段】複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、(a)基板上に塗布されたレジスト膜を所定のパターンを有するマスクを通して露光するステップと、(b)前記露光レジストを現像してマスターを形成するステップと、(c)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、(d)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、(e)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、(g)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、 (a)基板上に塗布されたレジスト膜を所定のパターンを有するマスクを通して露光するステップと、 (b)前記露光レジストを現像してマスターを形成するステップと、 (c)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、 (d)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、 (e)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、 (f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、 (g)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。

IPC (3件)：

G01N37/00 , C12M1/00 , C12N5/06

FI (4件)：

G01N37/00 , G01N37/00 101 , C12M1/00 A , C12N5/00 E

Fターム (7件)：

4B029AA08 , 4B029BB11 , 4B029GA03 , 4B029GB09 , 4B065AA90X , 4B065BC18 , 4B065CA46

引用特許：

出願人引用 (7件)

キャピラリーゲル電気泳動用マイクロチップおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-345050 出願人：理化学研究所
米国特許第5965237号明細書
流体マイクロチップ用ブレッドボードを用いたアセンブリマイクロチップ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-207455 出願人：學校法人浦項工科大學校

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審査官引用 (2件)

流体マイクロチップ用ブレッドボードを用いたアセンブリマイクロチップ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-207455 出願人：學校法人浦項工科大學校
微細加工型の製造方法及び微細パターンを有する成形体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-083914 出願人：三ツ星ベルト株式会社

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