特許
J-GLOBAL ID：200903022389437300
被分析物担体、及び、その製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大中 実
, 大内 信雄
, 鈴木 活人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-085922
公開番号（公開出願番号）：特開2009-236830
出願日： 2008年03月28日
公開日（公表日）： 2009年10月15日
要約：
【課題】金属性頭部の大きさ等の設計自由度が高い被分析物担体、及び、その製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】ラマン分光分析に用いる被分析物Mを担持するための被分析物担体1の製造方法であって、基板10表面に対して略垂直方向に凹んだ凹部4を基板10に形成することによって、略垂直方向に立設された複数のピラー部22を基板10に形成するピラー部形成ステップと、物理蒸着法または化学蒸着法によってピラー部22の先端部23を覆うように該先端部23に金属31を堆積させて、該先端部23に金属性頭部3を形成する金属性頭部形成ステップとを含むことを特徴とする被分析物担体の製造方法を提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ラマン分光分析に用いる被分析物を担持するための被分析物担体の製造方法であって、
基板表面に対して略垂直方向に凹んだ凹部を前記基板に形成することによって、前記略垂直方向に立設された複数のピラー部を前記基板に形成するピラー部形成ステップと、
物理蒸着法または化学蒸着法によって前記ピラー部の先端部を覆うように該先端部に金属を堆積させて、該先端部に金属性頭部を形成する金属性頭部形成ステップとを含むことを特徴とする被分析物担体の製造方法。
IPC (3件)：
G01N 21/65
, B81C 5/00
, H01L 21/027
G01N21/65
, B81C5/00
, H01L21/30 502D
2G043AA01
, 2G043DA06
, 3C081CA37
, 3C081EA26
, 5F046AA28
