特許

J-GLOBAL ID：200903022396482435

セラミック基板の製造方法及びそれに使用する冶具

発明者： 工藤 貴士 ,  松原 桂 ,  前田 哲也 ,  伊藤 正也
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 加藤 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268491
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089248
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 グリーンシートの脱脂時又は脱脂体の焼成時に発生する反り等の変形を防止するため、脱脂又は焼成を冶具で挟んで行うにあたり、両面から均等に効率よくガス抜きする。【解決手段】 グリーンシート51を挟んだ際に、それに多数の部位にて当接でき、発生するガスがグリーンシートの周縁より外側に流通可能に側面7に連なるように凹部5が形成された、上下2つの冶具1、1の各主平面によって、その両面側から挟んで脱脂する。脱脂体の焼成も同様、その両面側から挟んでする。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の製造におけるグリーンシートの脱脂工程において、主平面に、該主平面側にてグリーンシートを挟んだ際に、グリーンシートに多数の部位にて当接できると共にグリーンシートから発生するガスがグリーンシートの周縁より外側に流通可能の凹部が形成されてなる2つの冶具の該主平面によって、1又は重ねられた複数のグリーンシートをその両面側から挟んで脱脂することを特徴とするセラミック基板の製造方法。