特許
J-GLOBAL ID：200903022397855944
試料ステージ及びそれを用いた顕微鏡又は測定器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-108730
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302579
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】試料観察時には試料位置が安定し、かつ試料をスムーズに移動できる試料ステージ及びその試料ステージを用いた顕微鏡又は測定器を提供すること。【解決手段】本発明にかかる試料ステージは、試料台9を載せる試料ステージであって、試料台9を水平方向に移動させて、当該試料台の位置を調整する試料ステージ駆動機構を備えている。さらに試料台9の下に設けられ、上下方向に伸縮するピエゾアクチュエーター1を備えている。このピエゾアクチュエーター1は上方向に伸びた状態で保持される手段と、伸縮を繰り返す手段とを備えている。ピエゾアクチュエーター1が伸びた状態では、試料台9とピエゾアクチュエーター1が接触する。
請求項（抜粋）：
試料台を載せる試料ステージであって、前記試料台を水平方向に移動させて、当該試料台の位置を調整する試料ステージ駆動機構と、前記試料台の下に設けられ、一部が上下方向に移動する支持手段とを備え、前記支持手段は、その一部が上方向に移動した状態において、当該支持手段の一部と前記試料台とが接触し、その一部が下方向に移動した状態において、当該支持手段の一部と当該試料台とが離間する試料ステージ。
Fターム (2件)：
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