被処理体の移載機構、処理システム及び移載機構の使用方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-211875
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026108
出願日： 2000年07月12日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】構成の異なる2種類のホルダ部を設けて、これらの用途を使い分けることによって位置ずれの発生を防止することができる被処理体の移載機構を提供する。【解決手段】被処理体Wを保持する少なくとも2個のホルダ部28A,28Bを有する被処理体の移載機構において、ホルダ部の構成が互いに異なっている。例えば複数のホルダ部の内、1つのホルダ部には、被処理体のエッジ部と接触してこれを支持するために、テーパ形状になされたテーパ受け面を有する弾性部材よりなる少なくとも3個以上のテーパ受け部材42が形成されており、他の1つのホルダ部には、被処理体の裏面と接触してこれを支持するために平面形状になされた平面受け面を有する弾性部材よりなる少なくも3個以上の平面受け部材が形成されている。これらのホルダ部を使い分けることによって位置ずれを防止して被処理体を移載すると同時に位置ずれの発生した被処理体を移載することができる。

請求項（抜粋）：

被処理体を保持する少なくとも2個のホルダ部を有する被処理体の移載機構において、前記ホルダ部の構成が互いに異なっていることを特徴とする被処理体の移載機構。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B25J 15/08 , B65G 1/00 543 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B25J 15/08 Z , B65G 1/00 543 A , B65G 49/07 E

Fターム (36件)：

3F022AA08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK01 , 3F022NN12 , 3F022QQ11 , 3F061AA03 , 3F061BA03 , 3F061BE12 , 3F061BE16 , 3F061BE43 , 3F061BF04 , 3F061DB04 , 3F061DB06 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA06 , 5F031GA10 , 5F031GA13 , 5F031GA38 , 5F031GA40 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031JA02 , 5F031JA13 , 5F031JA29 , 5F031JA36 , 5F031KA03 , 5F031KA11 , 5F031KA15 , 5F031MA04

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