特許

J-GLOBAL ID：200903022398863967

超臨界および亜臨界流体を用いた洗浄方法

発明者： 新井 邦夫 ,  猪股 宏 ,  土屋 好文
出願人/特許権者： シューズリフレッシャー開発協同組合
代理人 (1件)： 渡辺 一豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095151
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290128
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 優れた溶解力をもつ超臨界流体による洗浄を更にパワーアップさせて靴等の難洗浄物をも洗浄可能とする。【構成】 耐圧洗浄器3内にて被洗浄物5を必要に応じてエントレーナを添加した超臨界および亜臨界流体6に浸漬し、次いで該耐圧洗浄器3内の該流体6を洗浄器3外に急速に流出させること、あるいは該洗浄器3内容積を急速に拡大させることにより該流体6密度を急速に膨脹させることで汚染物質表面で強い攪乱あるいは大量の気泡を発生させ、この流れ作用あるいはバブリング作用でもって汚染物質を迅速に強制剥離・強制溶解させて被洗浄物5の洗浄を行うとした。

請求項（抜粋）：

耐圧洗浄器内にて被洗浄物を必要に応じてエントレーナを添加した超臨界および亜臨界流体に浸漬し、次いで該耐圧洗浄器内の該流体を洗浄器外に急速に流出させること、あるいは該洗浄器内容積を急速に拡大させることにより該流体密度を急速に膨脹させることで汚染物質表面で強い攪乱あるいは大量の気泡を発生させ、この流れ作用あるいはバブリング作用でもって汚染物質を迅速に強制剥離・強制溶解させて被洗浄物の洗浄を行うことを特徴とする超臨界および亜臨界流体を用いた洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/00 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

B08B 3/00 ,  H01L 21/304 341 M