質量流量計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315686
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145751
出願日： 1994年11月26日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】測温抵抗体や発熱体を備えたチップセンサが直接流体に触れないようにすることにより、より優れた耐腐蝕性および強度を有するとともに、構造が簡単で製造が容易な質量流量計を提供すること。【構成】流体Fが流れる流路34に臨むようにして熱伝導性が劣る基板11を設け、この基板11に開設された2つの孔12,13の前記流路34に臨む側をそれぞれ、熱伝導性が良好な板部材18S,18Rで閉塞し、一つの板部材18Sの前記流路34に臨まない面に測温抵抗体53Sとこれを加熱するための発熱体54とからなるセンサチップ20を取り付け、他の板部材18Rの前記流路34に臨まない面に測温抵抗体53Rからなるセンサチップ21を取り付けた。

請求項（抜粋）：

流体が流れる流路に臨むようにして熱伝導性が劣る基板を設け、この基板に開設された2つの孔の前記流路に臨む側をそれぞれ、熱伝導性が良好な板部材で閉塞し、一つの板部材の前記流路に臨まない面に測温抵抗体とこれを加熱するための発熱体とからなるチップセンサを取り付け、他の板部材の前記流路に臨まない面に測温抵抗体からなるチップセンサを取り付けたことを特徴とする質量流量計。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭51-019556
特開昭55-093021

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