特許

J-GLOBAL ID：200903022400994314

レジスト樹脂組成物

発明者： 池口 信之 ,  大森 貴文 ,  大野 大典
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
代理人 (1件)： 永井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164642
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357895
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 伸び、最大応力が大きく、耐冷熱衝撃性、耐熱性等に優れ、且つ特性に優れたレジスト組成物を得る。【解決手段】 添加剤として、中に弾性を有する球状樹脂、最外層にガラス状樹脂層を有する多重構造の球状粉体を配合してレジスト組成物とする。また、樹脂成分に多官能性シアン酸エステル化合物を用いてレジスト組成物とする。【効果】 低弾性率で、伸び、最大応力が大きく、耐冷熱衝撃性、耐熱性、耐マイグレーション性等に優れたレジスト組成物が得られた。

請求項（抜粋）：

永久保護皮膜用レジストにおいて、少なくとも、中にゴム弾性を有する樹脂層が存在し、最外層をガラス状樹脂層で被覆された多重構造の球状粉体を必須成分として配合してなるレジスト樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H05K 3/00

FI (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H05K 3/00 F

Fターム (21件)：

2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC51 ,  2H025BC53 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA48 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA29 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04