特許

J-GLOBAL ID：200903022410585773

基板受台並びにこれを具備した基板抜出し収容装置及び基板転移装置

発明者： 大関 亮
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-308152
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148543
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 カセットの浮上りを防止して該カセットからの基板の抜出し作業が確実に行われる基板抜出し収容装置及び基板転移装置、並びに該各装置に用いられるべき基板受台を提供すること。【構成】 カセット31内に挿通されることによって該カセットから基板10を抜き出すための基板受台40について、これに並設される基板受用の受け溝40d,40e,40fに関し、基板整列方向において複数の区割り部41乃至45に区割りし、かつ、該区割り部各々間で互いに段差を以て形成している。これにより、同時に持ち上げられる基板の枚数が少なくなり、基板とカセットとの間に生ずる摩擦力が軽減され、以て上記の効果が得られる。

請求項（抜粋）：

基板の外周部が係合し得る受け溝が並設されて基板をその主面同士が略平行となるように整列して支持し得、前記受け溝各々は基板整列方向において複数の区割り部に区割りされ、かつ、該区割り部各々間で互いに段差を以て形成されていることを特徴とする基板受台。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-029945
  
• 薄板部材の移載用リフト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-034588   出願人：ソニー株式会社, 正和エンジニアリング株式会社