特許

J-GLOBAL ID：200903022414404102

超音波ノズルユニットとそれを用いた超音波処理装置及び超音波処理方法

発明者： 速水 直哉 ,  平林 英明 ,  松嶋 大輔
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281193
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096243
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】 処理液に高温液体を用いた処理効率の高いスリットタイプの超音波ノズルユニットとそれを用いた超音波処理装置を提供すること。【解決手段】 超音波を印加する振動板を具備した超音波ノズルユニット1、1a、1b、1cで、振動子8、31、49、68と振動板9、24、43、67とを接着固定している接着剤10、32、50、69を冷却媒体により冷却する。

請求項（抜粋）：

被処理体にノズルから処理液を噴出して処理する際に、この処理液に超音波を印加する振動板を具備した超音波ノズルユニットにおいて、前記振動板に接着剤で接着固定された振動子と、かつ、前記接着固定している接着剤を冷却する冷却手段を有することを特徴とする超音波ノズルユニット。

IPC (4件)：

B08B 3/12 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

B08B 3/12 Z ,  B08B 3/08 A ,  H01L 21/304 643 D ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (13件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB38 ,  3B201BB82 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201BB96 ,  3B201CB01 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43