特許
J-GLOBAL ID：200903022417321984

ガスセンサ素子の製造方法

発明者：
内藤 将

内藤 将 について

, 
鶴田 忠志

鶴田 忠志 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (2件)： 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154530
公開番号（公開出願番号）：特開2005-337787
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】所望の温度特性、圧力特性が得られるよう精密に導通孔の孔径が制御可能なガスセンサ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】固体電解質板11と、一方の表面に設けた被測定ガス側電極21と基準電極22とを有し、上記被測定ガス側電極21と対面する被測定ガス室171と、該被測定ガス室171と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔131を有するガスセンサ素子1を製造するに当たり、ガスセンサ素子製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体を準備し、かつ上記未焼積層体の内部に、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を設けてなると共に、上記空間部と上記外部雰囲気とを結ぶように有機物からなる糸を配設し、その後、上記未焼積層体を焼結すると共に上記有機物からなる糸を焼失せしめることで、上記被測定ガス室と上記導通孔を形成してなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸素イオン導電性固体電解質板と、該固体電解質板の少なくとも一方の表面に設けた被測定ガス側電極と基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極と対面する被測定ガス室と、該被測定ガス室と外部雰囲気とを結ぶと共に拡散抵抗を備えた導通孔を有するガスセンサ素子を製造するに当たり、 ガスセンサ素子製造用のグリーンシートを所望の枚数積層してなる未焼積層体を準備し、かつ上記未焼積層体の内部に、焼成後は上記被測定ガス室となる空間部を設けてなると共に、上記空間部と上記外部雰囲気とを結ぶように有機物からなる糸を配設し、 その後、上記未焼積層体を焼結すると共に上記有機物からなる糸を焼失せしめることで、上記被測定ガス室と上記導通孔を形成してなることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
IPC (2件)：
G01N27/41 ,  G01N27/416
FI (3件)：
G01N27/46 325L ,  G01N27/46 325E ,  G01N27/46 331
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
  • 酸素センサの製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-036292   出願人：トヨタ自動車株式会社
  • 特開平3-006449
  • センサー
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-544497   出願人：センソックスリミテッド
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