特許

J-GLOBAL ID：200903022419439532

露光装置

発明者： 大谷 栄三 ,  谷内 太一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399555
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203767
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 構造が簡単であるとともに、必要に応じて複数の絞り機構を容易に使い分けすることができる露光装置を提供する。【解決手段】 照明光学系IOPに、レチクルRを照明するエネルギビームの照明形状を変更する複数の絞り機構28G1,28G2と、各絞り機構28G1,28G2をエネルギビームの光軸方向に移動して、照明光学系IOPの瞳面に切換配置する切換機構32とを備える。複数の絞り機構としては、少なくともエネルギビームの光路における開口径をほぼ連続的に変更する虹彩絞り機構28G2と、光路内に所定の開口形状を有する開口絞り板128を出退可能に配置する開口絞り機構28G1とを、光軸方向に所定の間隔をおいて配置する。

請求項（抜粋）：

エネルギビーム源から出射されたエネルギビームにより所定のパターンが形成されたマスクを照明する照明光学系を備えた露光装置において、前記照明光学系は、前記マスクを照明する前記エネルギビームの照明形状を変更する複数の絞り機構と、前記複数の絞り機構を前記エネルギビームの光軸方向に移動し、前記マスクのパターンに関するフーリエ変換面もしくはその近傍に切換配置する切換機構とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03B 9/02 ,  G03B 9/04 ,  G03B 9/06 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/22

FI (7件)：

G03B 9/02 C ,  G03B 9/02 A ,  G03B 9/04 ,  G03B 9/06 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (4件)：

2H080AA19 ,  2H080AA54 ,  5F046CB05 ,  5F046DA12