ウェーハ研磨用ヘッド及びこれを用いた研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328816
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138227
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】ウェーハを保持しているかどうかを精度よく検出することができるウェーハ研磨用ヘッド及び研磨装置を提供する。【解決手段】ウェーハ研磨用ヘッド11のキャリア16の下面に凹部7を設け、キャリア16の下面に凹部7と外部とを仕切って第二の流体室8を形成する可撓性を有する膜体9(可撓部材)を張る。キャリア16において凹部7の略中央に第二の圧力調整機構10と接続される流通孔33を設ける。第二の圧力調整機構10の吸引圧と凹部7の外周部分における第二の流体室8の内圧との差圧を測定する差圧測定装置41を設ける。差圧測定装置41が差圧を検出したことをもってウェーハWが保持されていないことを検出するウェーハ検出装置44を設ける。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持する側の面である下面に凹部が設けられるキャリアと、該キャリアの下面に設けられて前記凹部と外部とを仕切って流体室を形成するとともにその下面で前記ウェーハを受ける可撓部材とを備え、前記キャリアの前記凹部には、前記流体室内の圧力を調整する圧力調整機構が接続されて、前記ウェーハを保持する際には、前記圧力調整機構によって前記流体室内の圧力を外気圧よりも低下させることで前記可撓部材を前記凹部内に向けて窪ませて前記ウェーハを吸着する吸盤として作用させるウェーハ研磨用ヘッドであって、前記キャリアには、前記圧力調整機構と前記凹部とを接続する流通孔が、前記凹部の略中央に位置して設けられ、前記可撓部材は、その下面に前記ウェーハが密着していない状態では前記圧力調整機構の吸引圧によって前記凹部内に向けてさらに窪んで該凹部の外周部分に空間を残した状態で前記流通孔を閉塞するように設けられ、前記圧力調整機構の吸引圧と、前記凹部の外周部分における前記流体室の内圧との間の差圧を測定する差圧測定装置と、該差圧測定装置が差圧を検出したことをもって前記ウェーハが保持されているかどうかを検出するウェーハ検出装置とを備えていることを特徴とするウェーハ研磨用ヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 H , H01L 21/304 622 K

Fターム (6件)：

3C058AA09 , 3C058AB04 , 3C058AB08 , 3C058AC02 , 3C058BA09 , 3C058DA17

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