特許
J-GLOBAL ID：200903022427908614
圧電セラミックス及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-193731
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172025
出願日： 1993年08月04日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、自己崩壊することがなく、パイロクロア相の生成を抑制することができ、かつキュリー温度の低下も抑制することができる圧電セラミックスの製造方法を提供することである。【構成】 圧電セラミックスの材料となる仮焼粉末を成形した後、その成形体を高圧下で焼成して圧電セラミックスを製造する圧電セラミックスの製造方法において、高圧下における焼成前に前記成形体を大気圧下で予備焼成することを特徴とする。さらに、好ましくは圧電セラミックスを高圧下で焼成した後、酸化性雰囲気中で500〜1000°Cで熱処理する。また、Pb(Zn<SB>1/3 </SB>Nb<SB>2/3 </SB>)O<SB></SB><SB>3 </SB>-PbTiO<SB>3 </SB>系圧電セラミックスであって、その組成が、(Pb<SB>1-x </SB>Ba<SB>x</SB>)〔(Zn<SB>1/3 </SB>Nb<SB>2/3 </SB>)<SB>1-y </SB>Ti<SB>y </SB>〕O<SB>3 </SB>において、0.001<x<0.055かつ0.05<y<0.20である。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックスの材料となる仮焼粉末を成形した後、その成形体を高圧下で焼成して圧電セラミックスを製造する圧電セラミックスの製造方法において、高圧下における焼成前にクローズドポアを発生するように前記成形体を大気圧下で予備焼成することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/46
, H01L 41/187
, H01L 41/24
H01L 41/18 101 F
, H01L 41/22 A
