特許
J-GLOBAL ID：200903022440029352
光学素子の屈折率分布の測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-110462
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304229
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】温度などの環境変動を受けにくい測定方法および装置を提供する。【構成】同一光源1からの可干渉光を基準となる参照波aと屈折率がほぼ同一の試液中に浸した測定対象の光学素子よりなる被検物Aを透過する被検波bとに分割し、参照波aと被検波bとの重畳による干渉縞像を形成する。光学素子と屈折率がほぼ同一の透光性固体73を試液Bの一部と置換し、干渉縞像検出器15を干渉縞像の結像面に配置し、被検物Aを試液中にて被検波bの光軸に対して直交する軸線周りに回転させながら、干渉縞像検出器15によって検出された干渉縞像を解析して透過波面を計測する。
請求項（抜粋）：
測定対象の光学素子よりなる被検物とこの光学素子と屈折率がほぼ同一の透光性固体とを光学素子と屈折率がほぼ同一の試液中に浸し、同一光源からの可干渉光を、基準となる参照波と前記光学素子を透過する被検波とに分割し、参照波と被検波との重畳による干渉縞像を形成し、被検物を試液中に浸した状態にて被検波の光軸に対して直交する軸線周りに回転させ少なくとも二つの回転角位置の各々にて前記干渉縞像の解析により透過波面を計測し、この複数方向からの透過波面の測定結果から光学素子の屈折率分布を測定することを特徴とする光学素子の屈折率分布の測定方法。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01B 9/02
, G01N 21/41
G01M 11/02 B
, G01B 9/02
, G01N 21/41 Z
