特許

J-GLOBAL ID：200903022441165470

電子源の製造方法と製造装置及び電圧印加回路

発明者： 小口 高弘 ,  鈴木 朝岳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128544
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331599
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】行列状に配置された複数の導電部材それぞれに印加される電圧の差を緩和する。【解決手段】バッファアンプ107によって電位が印加されて表面伝導型放出素子基板101の列配線に電位が印加され、ライン選択回路102により選択されたの1行の行配線に電位が印加される。これにより、選択された1列の導電部材の両端に生じる電位差で、その導電部材が活性化される。その際、制御回路106は活性化の進捗をモニタ回路103で監視し、電位分布発生回路108によって、各導電部材による行配線の電位の降下に見合った列配線電位が与えられる。

請求項（抜粋）：

電子源の製造方法であって、電子放出素子の少なくとも一部となるべき複数の導電部材それぞれの第1の部分に該複数の導電部材が共通に接続される配線を介して電位を印加するとともに、前記複数の導電部材それぞれの第2の部分に電位を印加して、前記複数の導電部材それぞれに電圧を印加する工程を有しており、前記複数の導電部材それぞれの前記第2の部分に印加される電位は、前記複数の導電部材が共通に接続される配線における前記複数の導電部材それぞれの前記第1の部分が接続される部分毎の電位の違いによる前記複数の導電部材それぞれに印加される電圧の差を緩和するように設定されることを特徴とする電子源の製造方法。