特許

J-GLOBAL ID：200903022446478256

ラッピング装置

発明者： 田中 謙次 ,  安部 正行
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248572
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071556
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 長期間にわたって、効率よく、被加工物を所定の寸法(厚み)に高精度にラッピング加工することを可能にする。【構成】 キャリア3の両主面の少なくとも一部を耐摩耗性材料から構成するとともに、キャリア3の厚みを被加工物6の目標とする厚みと実質的に同一にする。または、キャリアの複数の位置に、キャリアをその一方の主面側から他方の主面側に貫通するとともに、一方の主面側から他方の主面側までの長さが少なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加工物の目標とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材料からなるスペーサを配設する。

請求項（抜粋）：

上プレートと下プレートとの間に配設されたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキャリアとを相対移動させることにより被加工物をラッピングするラッピング装置において、キャリアの両主面の少なくとも一部を耐摩耗性材料から構成するとともに、キャリアの厚みを被加工物の目標とする厚みと実質的に同一にしたことを特徴とするラッピング装置。