特許
J-GLOBAL ID：200903022450892393
座標測定装置を制御する方法及び座標測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350920
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197235
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 測定時間を大きく短縮できる座標測定装置を制御する方法を提供すること。【解決手段】 スキャナの加速時に発生する質量慣性力(↑F↑zp)に抵抗するために、測定力(↑F↑mess)は、量に関しては一定であり、測定すべき工作物(15)の表面に対して垂直の向きの目標測定力(↑F↑soll)と、スキャナ(24)の加速によって発生する質量慣性力(↑F↑tr,↑F↑zp)を少なくとも部分的に補正する働きをする修正測定力(↑F↑korr)とから合成される。
請求項（抜粋）：
スキャナ(24)が移動自在に取り付けられている走査ヘッド(2)が走行し、且つスキャナ(24)は走査ヘッド(2)に対する測定力(↑F↑mess)を受けるような座標測定装置を制御する方法において、測定力(↑F↑mess)は、量に関しては一定であり、測定すべき工作物(15)の表面に対して垂直の向きの目標測定力(↑F↑soll)と、スキャナ(24)の加速によって発生する質量慣性力(↑F↑tr,↑F↑zp)を少なくとも部分的に補正する働きをする修正測定力(↑F↑korr)とから合成されることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
G01B 21/00
, G01B 5/20 101
G01B 21/00 B
, G01B 5/20 101 A
