特許
J-GLOBAL ID:200903022453388998
密度分布測定装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
柳野 隆生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-031536
公開番号(公開出願番号):特開平10-227734
出願日: 1997年02月17日
公開日(公表日): 1998年08月25日
要約:
【要約】【課題】 被検査体のX線投影像をリアルタイムに測定、表示できる装置を提供し、また、管電圧などのゆらぎ、温度や湿度の変動などによる測定条件の変化に対応できる密度測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 微少焦点X線源を備えるX線発生器5と、試料1を設置する試料取付台2と、試料1のX線投影像を検出するX線検出器21と、X線投影像の検出データを処理する演算器6と、X線投影像などを表示する表示器7と、記録器8とからなる装置において、密度の互いに異なる二種類の既知試料と、未知試料とを同時にX線撮影し、演算器6にて、そのX線投影像の検出データを基に、未知試料の密度分布を演算し、CRT等の表示器7にその密度分布を表示する。
請求項(抜粋):
単または複数の試料が設置され得る試料取付台と、該試料への入射X線を発生するための微小焦点源を備えるX線発生器と、前記試料のX線投影二次元像を検出するX線検出器と、該X線投影二次元像の検出信号が入力される演算器と、前記X線投影二次元像を表示する表示器とを備えて、該演算器において、未知試料と同組成且つ密度および厚さが既知の既知試料を用いて、密度の互いに異なる二種類の前記既知試料のX線投影二次元像の検出信号を基にして、試料への入射X線の強度、および装置固有のパラメータを含む量と、質量吸収係数とを連立方程式の解として求め、これらの解と未知試料のX線投影二次元像の検出信号とから、単または複数の未知試料の密度分布を演算し、表示器において表示し、または記録器において記録・保存することを特徴とする密度分布測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
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