特許

J-GLOBAL ID：200903022454275283

鉄-ニッケル合金用マイクロエッチング剤およびそれを用いる表面粗化法

発明者： 秋山 大作 ,  斉藤 知志
出願人/特許権者： メック株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212391
公開番号（公開出願番号）：特開2001-040490
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 鉄-ニッケル合金の表面を微細な凹凸形状に粗化することのできるマイクロエッチング剤および表面粗化法を提供する。【解決手段】 酸化剤0.5〜20%(重量%、以下同様)、無機酸2〜40%および塩素イオン0.001〜2.0%を含有する水溶液からなる鉄-ニッケル合金用マイクロエッチング剤、ならびに前記水溶液を用いる鉄-ニッケル合金の表面粗化法である。

請求項（抜粋）：

酸化剤0.5〜20重量%、無機酸2〜40重量%および塩素イオン0.001〜2.0重量%を含有する水溶液からなる鉄-ニッケル合金用マイクロエッチング剤。

IPC (2件)：

C23F 1/28 ,  H01L 23/50

FI (2件)：

C23F 1/28 ,  H01L 23/50 A

Fターム (8件)：

4K057WA05 ,  4K057WB01 ,  4K057WE01 ,  4K057WE30 ,  4K057WN01 ,  5F067AA04 ,  5F067DA16 ,  5F067EA02