特許
J-GLOBAL ID：200903022455967456
圧力センサの調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067952
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281520
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】周囲環境による出力変化が少なく、かつ、高感度の圧力センサの調整方法を実現する。【構成】ダイヤフラム93cの両面に作用する流体の圧力差によりダイヤフラム93cが変位すると、ダイヤフラム93cに貼着された磁性膜93dとこの磁性膜93dに近接するフェライトコア91との間のギャップが変化し、それによりコイル92のインダクタンスが変化する。回路部はコイル92へ交流電流を給電するとともに上記圧力差に応じたコイル92のインダクタンス変化により変調された信号成分を検出する。磁性膜93d及びフェライトコア91はギャップ方向に見てそれぞれ長板形状を有するので、両者をギャップ方向と直角な方向に回動させるとコイル92のインダクタンスを所望値に調整することができる。
請求項（抜粋）：
周辺部がケースに支持されるとともに両面に作用する二流体の圧力差に応じて中央部が変位するダイヤフラムと、長板状の基部、前記基部の中央部から立設される中央柱部及び前記基部の両端から立設される一対の外壁部を備え、前記ケースに固定される断面E字状の磁性体コアと、両端部が前記磁性体コアの前記外壁部に近接し、中央部が前記中央柱部に近接する位置にて前記ダイヤフラムに固着されて前記磁性体コアとともに有ギャップ磁気回路を構成する高透磁性の磁性膜と、前記中央柱部に巻装されるコイルと、前記ダイヤフラムの変位により変調されて前記コイルの両端に出力される電圧に基づいて前記圧力差に応じた信号を出力する回路部とを備える圧力センサの調整方法であって、前記磁性体コアを前記中央柱部を中心として前記磁性膜に対し相対回転して、前記コイルのインダクタンスを所定値に設定することを特徴とする圧力センサの調整方法。
IPC (2件)：
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