特許

J-GLOBAL ID：200903022459685242

基板保持装置及びそれを有する荷電粒子線露光装置

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054921
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252352
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 十分な熱伝達があり、ウエハ交換を高速で行える基板保持装置を提供する。【解決手段】 本発明の基板保持装置は、絶縁物からなる基板吸着面3を有し、吸着面3に、幅10μm 以下、深さ10μm 以下の溝7が間隔100μm 以下で縦・横に交差するように形成してある。

請求項（抜粋）：

絶縁物からなる基板吸着面を有し、真空中で基板を保持する装置であって;上記吸着面に、幅10μm 以下、深さ10μm 以下の溝が間隔250μm 以下で縦・横に形成されていることを特徴とする基板保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 541 L

Fターム (26件)：

2H097BA02 ,  2H097BA04 ,  2H097CA16 ,  2H097GA22 ,  2H097GA41 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30 ,  5F046AA05 ,  5F046AA22 ,  5F046CC05 ,  5F046CC09 ,  5F046DA27 ,  5F046DB04 ,  5F046DC04 ,  5F046EC03 ,  5F056AA15 ,  5F056AA23 ,  5F056CB25 ,  5F056EA17