特許

J-GLOBAL ID：200903022463140773

液晶表示体用基板の検査装置

発明者： 中込 陽一 ,  横森 秀人
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-086176
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262090
出願日： 1995年03月18日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 LCD用基板のアライメントを円滑且つ確実に行なうことができるLCD用基板Sの検査装置を提供する。【構成】 本LCD用基板Sの検査装置10は、LCD用基板Sを載置する基板載置台44と、この基板載置台44上に載置されたLCD用基板Sを照明しながらその表面のクロスマークM1、M2を検出するアライメント機構62とを備え、アライメント後のLCD用基板Sの電気的検査を行なう検査装置において、少なくとも基板載置台44の載置面44cに黒色アルマイト処理を施して黒色多孔質層膜44aたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

液晶表示体用基板を載置する載置台と、この載置台上に載置された液晶表示体用基板を照明しながらその表面のアライメントマークを検出するアライメント機構とを備え、アライメント後の液晶表示体用基板の電気的検査を行なう検査装置において、少なくとも上記載置台の載置面に艶消し処理を施したことを特徴とする液晶表示体用基板の検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (4件)：

G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G01R 31/28 J