特許
J-GLOBAL ID:200903022471640300
エバネセント波侵入長の波長分散補正光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-236439
公開番号(公開出願番号):特開平8-101120
出願日: 1994年09月30日
公開日(公表日): 1996年04月16日
要約:
【要約】【目的】 スペクトル幅の広い光源を用いたときのエバネセント波の侵入長の波長依存性を抑制する。【構成】 分散素子を用いて、波長により入射角を変えることで、エバネセント波の侵入長の波長依存性を抑制する。回折格子などの分散素子と像を拡大縮小するレンズ系と全反射プリズムよりなる。【効果】 ATR分光装置や近接場顕微鏡の実効深さの波長による変化、解像度の変化等を低減する。
請求項(抜粋):
スペクトル幅を有する光源を用いてエバネセント波を発生する機構を有する装置において、エバネセント波の侵入長の波長による変化を補正するために、分散素子を用いて、プリズムの全反射界面への入射角を波長により変えることを特徴とするエバネセント波侵入長の波長分散補正光学装置。
IPC (2件):
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