特許
J-GLOBAL ID：200903022471741778

放射線像変換パネルの製造方法

発明者：
長谷川 顕

長谷川 顕 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  福島 弘薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287467
公開番号（公開出願番号）：特開2006-098339
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】蛍光体層を真空蒸着で形成し、かつ、蒸着レートおよび膜厚を正確に制御できる放射線像変換パネルの製造方法を提供する。【解決手段】成膜中にレーザ変位計20a〜20f等を用いて蛍光体層の膜厚を測定し、その測定結果に応じて、加熱制御手段24によりルツボ50a〜50fの発熱を調整して、ルツボ毎の蒸着レートを制御する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
真空蒸着により基板に輝尽性蛍光体層を形成する放射線像変換パネルの製造において、 膜厚測定手段を用いて成膜中の輝尽性蛍光体層の膜厚を測定し、この測定結果に応じて、成膜材料の加熱を制御することを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
IPC (7件)：
G21K 4/00 ,  C09K 11/55 ,  C09K 11/61 ,  C23C 14/24 ,  G01B 21/08 ,  G01T 1/00 ,  G03B 42/02
FI (7件)：
G21K4/00 L ,  C09K11/55 ,  C09K11/61 ,  C23C14/24 U ,  G01B21/08 ,  G01T1/00 B ,  G03B42/02 B
Fターム (38件)：
2F069AA33 ,  2F069BB40 ,  2F069CC08 ,  2F069GG01 ,  2F069GG30 ,  2F069HH30 ,  2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC02 ,  2G083CC10 ,  2G083DD11 ,  2G083EE02 ,  2G083EE10 ,  2H013AC01 ,  2H013AC04 ,  4H001CA08 ,  4H001XA35 ,  4H001XA55 ,  4H001YA63 ,  4H001YA83 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029DB19 ,  4K029DB21 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02 ,  4K029EA09 ,  4K029JA02 ,  4K029JA03 ,  4K029KA01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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