特許
J-GLOBAL ID：200903022473776153
基板搬送装置及び基板搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-233091
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097269
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ専用の装置を必要としない省スペースで簡易な基板搬送装置を提供すること。【構成】 ハンド102は、ウェハ11を支持可能になっている。アーム92は、ハンド102を移動させてカセット13に置かれたウェハ11にアクセスさせる。ハンド102のヘッド132には、エッジセンサ132a、132bが所定間隔でもって固設されている。制御装置は、エッジセンサ132a、132bがウェハ11のオリフラ11a以外の周縁を少なくとも3点以上検出するようにハンド102を進退移動させつつ、エッジセンサ132a、132bの出力に基づいて円形基板のエッジ位置を決定し、決定されたエッジ位置の任意の2つを円周上の点と仮定した場合のこの円周の中心点としてウェハ11の中心位置111cを算出し、この中心位置111cに基づいてハンド102を移動させる。
請求項（抜粋）：
切欠を有する円形基板を支持可能な支持手段と、前記支持手段を移動させて受け渡し位置に置かれた前記円形基板にアクセスさせる移動手段と、前記円形基板にアクセスする前記支持手段の前進方向に垂直でかつ前記円形基板の表面に平行な横方向に関して前記円形基板の直径未満の間隔で前記支持手段側に固設された2個のエッジセンサと、前記2個のエッジセンサが前記円形基板の前記切欠以外の周縁を少なくとも3点以上検出するように前記移動手段を介して前記支持手段を前記円形基板に対して進退移動させつつ、前記2個のエッジセンサの各出力と前記支持手段の位置情報とに基づいて前記円形基板のエッジ位置を決定し、決定されたエッジ位置の任意の2つを円周上の点と仮定した場合のこの円周の中心点を幾何学的座標計算によって算出し、算出した中心点のうち共通する点を前記円形基板の中心位置として前記移動手段を介して前記支持手段を移動させる制御手段と、を備える基板搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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