特許

J-GLOBAL ID：200903022477348288

表面欠陥検査方法及び装置

発明者： 藤田 利明
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンテクノメイト
代理人 (1件)： 石川 壽彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-108877
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286791
出願日： 2008年04月18日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】微細な表面欠陥を検出し、さらには微細な欠陥の深さに基づいて被検査物の良否の判定を設定、変更できる表面検査方法及び装置を得る。【解決手段】被検査物の表面に照射した光の反射光を受光部によって受光して表面欠陥を検出して前記被検査物の良否を判定する表面欠陥検査方法であって、前記被検査物の表面に生ずる欠陥に対応して予め定めた反射光の光路に前記受光部を配置すると共に反射光の光量と欠陥の大きさとに基づいて予め閾値を定めておき、前記受光部に入射する反射光の光量と前記閾値とを比較して前記被検査物の良否を判定することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査物の表面に照射した光の反射光を受光部によって受光して表面欠陥を検出して前記被検査物の良否を判定する表面欠陥検査方法であって、 前記被検査物の表面に生ずる欠陥に対応して予め定めた反射光の光路に前記受光部を配置すると共に反射光の光量と欠陥の大きさとに基づいて予め閾値を定めておき、前記受光部に入射する反射光の光量と前記閾値とを比較して前記被検査物の良否を判定することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/952

FI (1件)：

G01N21/952

Fターム (14件)：

2G051AA44 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC17 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051DA13 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3425590号公報
  
• 表面検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-351042   出願人：富士写真フイルム株式会社