特許
J-GLOBAL ID：200903022479118778
研磨用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363541
公開番号（公開出願番号）：特開2000-190213
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの研磨時には強力にしかも安定的に研磨機定盤に高精細に粘着し、研磨機定盤から剥離する際には定盤から容易に研磨用ウエハ保持部材または研磨布を剥離することができる研磨用治具を提供すること。【解決手段】 研磨機の上定盤1または下定盤12に接着される研磨布7と、研磨布7に被覆される面状ヒータ14とを有する研磨用治具である。研磨布7は、研磨布基体5と、研磨布基体5の片面に積層されており研磨布基体5を定盤11,12に接着するための感圧接着剤層3とを有する。感圧接着剤層3を形成する接着剤組成物が、感圧接着剤と側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該ポリマーが、温度T1から少なくとも15°C以上高い温度T2に加温することにより接着剤組成物の粘着性が低下するのに必要な量だけ該組成物中に存在する。
請求項（抜粋）：
研磨機の上定盤または下定盤に接着される研磨布と、該研磨布に被覆される面状ヒータとを有する研磨用治具であって、該研磨布は、研磨布基体と、該研磨布基体の片面に積層されており該研磨布基体を該定盤に接着するための感圧接着剤層とを有し、該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物が、感圧接着剤と側鎖結晶化可能ポリマーとを含有し、該ポリマーが、温度T1から少なくとも15°C以上高い温度T2に加温することにより接着剤組成物の粘着性が低下するのに必要な量だけ該組成物中に存在する研磨用治具。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 J
, H01L 21/304 622 J
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AB09
, 3C058CB04
, 3C058CB10
, 3C058DA17
