特許

J-GLOBAL ID：200903022481258307

π電子共役系有機シラン化合物を用いた機能性有機薄膜及びその製造方法

発明者： 今田 裕士 ,  花戸 宏之 ,  田村 壽宏
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (2件)： 河宮 治 ,  北原 康廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232041
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049754
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】 溶液プロセスを用いた簡便な方法により形成できるとともに、基板表面に強固に吸着でき、かつ、高い秩序性(結晶性)および高密パッキング特性を有する機能性有機薄膜およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 式;A-B-C-SiX1X2X3(Aは水素原子がハロゲン原子によって置換されていてもよい1価脂肪族炭化水素基であって、ハロゲン原子によって置換されていない場合は炭素数16〜30、ハロゲン原子によって置換されている場合は炭素数13〜25のもの;Bは酸素原子または硫黄原子;Cはπ電子共役を示す2価の有機基;X1〜X3は加水分解により水酸基を与える基)の有機シラン化合物を用いた機能性有機薄膜。上記有機シラン化合物のシリル基を加水分解して基板表面と反応させ、該基板に直接吸着した単分子膜を形成した後、該単分子膜上の未反応の有機シラン化合物を非水系有機溶剤を用いて洗浄除去する機能性有機薄膜の製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(I);A-B-C-SiX1X2X3 (I) (式中、Aは水素原子がハロゲン原子によって置換されていてもよい1価脂肪族炭化水素基であって、ハロゲン原子によって置換されていない場合は炭素数16〜30、ハロゲン原子によって置換されている場合は炭素数13〜25のものである;Bは酸素原子または硫黄原子である;Cはπ電子共役を示す2価の有機基である;X1〜X3は加水分解により水酸基を与える基である)で表されるπ電子共役系有機シラン化合物を用いて形成された単分子膜を有する機能性有機薄膜。

IPC (4件)：

H01L 51/05 ,  C08G 77/04 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/42

FI (4件)：

H01L29/28 ,  C08G77/04 ,  H01L29/78 618B ,  H01L31/04 D

Fターム (58件)：

4H049VN01 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ21 ,  4H049VR21 ,  4H049VR43 ,  4H049VU24 ,  4J246AA03 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA03U ,  4J246CA030 ,  4J246CA04U ,  4J246CA040 ,  4J246CA05U ,  4J246CA050 ,  4J246CA13U ,  4J246CA13X ,  4J246CA130 ,  4J246CA660 ,  4J246CA800 ,  4J246CA82X ,  4J246CA820 ,  4J246CA870 ,  4J246CA88X ,  4J246CA880 ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FB041 ,  4J246GB27 ,  4J246GB29 ,  4J246GB33 ,  4J246GD08 ,  4J246HA66 ,  5F051AA11 ,  5F051BA17 ,  5F110AA01 ,  5F110AA26 ,  5F110BB09 ,  5F110BB20 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110EE04 ,  5F110EE43 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG05 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第2889768号公報
  
• 特公平6-27140号公報
  
• 特許第2507153号公報
  
• 特許第2725587号公報