特許

J-GLOBAL ID：200903022503596406

セラミックヒータ

発明者： 伊藤 康隆 ,  古川 正和 ,  平松 靖二
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-316513
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229233
出願日： 1999年12月29日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウエハ等の被加熱物を均一に加熱することができるセラミックヒータを提供すること。【解決手段】 セラミック板の表面または内部に発熱体を形成してなるセラミックヒータにおいて、被加熱物を加熱する加熱面の反対側から加熱面に向けて有底孔を設けるとともに、該有底孔の底を発熱体よりも相対的に加熱面に近く形成し、この有底孔に測温素子を設けたことを特徴とするセラミックヒータ。

請求項（抜粋）：

セラミック板の表面または内部に発熱体を形成してなるセラミックヒータにおいて、被加熱物を加熱する加熱面の反対側から加熱面に向けて有底孔を設けるとともに、該有底孔の底を発熱体よりも相対的に加熱面に近く形成し、この有底孔に測温素子を設けたことを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (6件)：

H05B 3/00 310 ,  H05B 3/00 365 ,  H05B 3/00 375 ,  H01L 21/027 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74

FI (6件)：

H05B 3/00 310 E ,  H05B 3/00 365 G ,  H05B 3/00 375 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74 ,  H01L 21/30 566

Fターム (39件)：

3K034AA02 ,  3K034AA04 ,  3K034AA10 ,  3K034AA16 ,  3K034AA21 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BC03 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034DA04 ,  3K034DA05 ,  3K034HA04 ,  3K034HA10 ,  3K034JA10 ,  3K058AA22 ,  3K058AA86 ,  3K058BA19 ,  3K058CA12 ,  3K058CA23 ,  3K058CA51 ,  3K058CA61 ,  3K058CA69 ,  3K058CA92 ,  3K092PP09 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB30 ,  3K092QB44 ,  3K092QB68 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092UA05 ,  3K092UA06 ,  3K092VV22 ,  3K092VV31 ,  5F046KA04