特許

J-GLOBAL ID：200903022509329060

光学反射素子

発明者： 寺田 二郎 ,  中園 晋輔 ,  古川 成男 ,  小牧 一樹
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-106502
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258339
出願日： 2008年04月16日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部1と、このミラー部1とそれぞれ支持部2で連結された対の音叉形圧電振動子3と、これらの音叉形圧電振動子3の振動中心4とそれぞれ支持部5で連結された枠体6と、この枠体6とそれぞれ支持部7で連結され、音叉形圧電振動子3の回転軸に対して垂直な回転軸を有する対の音叉形圧電振動子8と、これらの音叉形圧電振動子8の振動中心9とそれぞれ支持部10で連結された支持体11とを備え、対の音叉形圧電振動子3の少なくともいずれか一方は、この音叉形圧電振動子3のアーム12、13の連結部21であって、アーム12または/およびアーム13寄りの位置にモニター電極22を有するものとした。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ミラー部と、このミラー部を介して対向するとともに、このミラー部とそれぞれ第一の支持部で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子と、これらの第一の音叉形圧電振動子の振動中心とそれぞれ第二の支持部で連結され、前記対の第一の音叉形圧電振動子の外周を囲う枠体と、この枠体を介して対向するとともに、この枠体とそれぞれ第三の支持部で連結され、前記第一の音叉形圧電振動子の回転軸に対して垂直な回転軸を有する対の第二の音叉形圧電振動子と、これらの第二の音叉形圧電振動子の振動中心とそれぞれ第四の支持部で連結された支持体とを備え、 前記第一の音叉形圧電振動子は、それぞれ前記第一の支持部の両側に第一のアームと第二のアームとを有し、前記第二の音叉形圧電振動子は、それぞれ前記第三の支持部の両側に第三のアームと第四のアームとを有し、 前記対の第一の音叉形圧電振動子の少なくともいずれか一方は、前記第一のアームと第二のアームとの連結部であって、前記第一のアームまたは/および第二のアーム寄りの位置に第一のモニター電極を有する光学反射素子。

IPC (1件)：

G02B 26/10

FI (1件)：

G02B26/10 104Z

Fターム (6件)：

2H045AB13 ,  2H045AB23 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045BA12 ,  2H045DA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-192714   出願人：スタンレー電気株式会社