特許

J-GLOBAL ID：200903022513626796

X線発生装置、X線露光装置及びX線フィルター

発明者： 近藤 洋行 ,  太田 和哉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-262628
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103773
出願日： 2002年09月09日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】フィルターの厚さにムラがあった場合でも、マスク上又はレジスト上での露光ムラが生じないようにするとともに、熱負荷によりフィルターが破損することのない、X線発生装置を提供する。【解決手段】本発明のX線発生装置は、X線源と、該X線源から輻射されるX線が通過するフィルター100と、を備える。前記フィルター100上における前記X線の通過位置を必要に応じて移動させるため、フィルター100の駆動機構102、103、104を備えることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

X線源と、該X線源から輻射されるX線が通過するフィルターと、を備えるX線発生装置であって、 前記フィルター上における前記X線の通過位置を必要に応じて移動させる機構を更に備えることを特徴とするX線発生装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K3/00 ,  G21K5/02

FI (6件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 503 ,  G21K3/00 S ,  G21K3/00 Z ,  G21K5/02 X ,  H05G1/00 G

Fターム (14件)：

2H097BA10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097EA03 ,  4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  4C092AC20 ,  4C092BD14 ,  4C092BD17 ,  5F046GA03 ,  5F046GB07 ,  5F046GC03