特許
J-GLOBAL ID：200903022514758076
ゲッター及びゲッターを有する蛍光表示管
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169177
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029521
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 蛍光表示管内の狭い空間に配設することができる薄型のゲッターを提供する。【構成】 アノード基板2とカソード基板3とスペーサ部材4が外囲器5を構成する。カソード基板3の内面にある電界放出素子8は、カソード電極9と絶縁層11とゲート電極12とコーン形状のエミッタ14とを備える。電界放出素子に対面し、アノード基板の内面にはアノード電極15が形成される。カソード基板の隅には、開口部21を有するパターンのゲッター層20が絶縁層上に形成される。絶縁層は開口部21を介してサドエッチングされ、ゲッター層の下面の一部に接する。ゲッター層を加熱して蒸発させ、ゲッター物質をアノード基板の内面に蒸着してゲッター膜とする。ゲッター層の加熱時に熱は絶縁層に逃げにくい。ゲッター層は薄く、電界放出素子を電子源とする表示管の狭い内部にも配設できる。
請求項（抜粋）：
電子素子の外囲器内に設けられて該外囲器内の真空度を保持するゲッターにおいて、ゲッター材料から成膜法によって前記外囲器内に形成したゲッター層を加熱蒸発させて得たゲッター膜からなることを特徴とするゲッター。
IPC (2件)：
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