特許
J-GLOBAL ID：200903022517568243
縮小投影露光装置の投影倍率測定機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216493
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045219
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 短時間で簡便に投影倍率及び台形成分の測定を行うことのできる、縮小投影露光装置の投影倍率測定機構を提供する。【構成】 照明光学系1からの露光光の焦点面に配置され且つ投影パターンPが描かれたレチクルマスク2と、露光光を縮小する投影レンズ3と、その露光光を検出する光検出器5と、光検出器5を搭載し且つ水平方向に移動可能なステージ5と、ステージ位置を測定する手段6,61,62とからなり、ステージを移動して光検出器を走査させ、露光光を光検出器で検出した時のステージ位置を、投影位置として基準位置と比較し、そのズレ幅を測定する。
請求項（抜粋）：
縮小投影露光装置の投影倍率測定機構であって、露光光を発生する照明光学系と、前記露光光の光路中に配置され、且つ投影パターンが描かれたレチクルマスクと、前記投影パタンを通過した前記露光光を縮小する投影レンズと、前記投影レンズで縮小された前記露光光を検出する光検出器と、前記光検出器を搭載し且つ水平方向に移動可能なステージと、前記ステージのステージ位置を測定する手段とからなることを特徴とする縮小投影露光装置の投影倍率測定機構。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 301 G
, H01L 21/30 311 M
