特許

J-GLOBAL ID：200903022522548129

硬さ試験機

発明者： 福地 亮太郎 ,  辻井 正治
出願人/特許権者： 株式会社アカシ
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-121467
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310869
出願日： 2001年04月19日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、信頼性の高いくぼみの測定データが取得できる硬さ試験機を提供することを目的とする。【解決手段】対物レンズと試料表面の高さの差を調節し、対物レンズの焦点合わせを実施する硬さ試験機において、対物レンズの焦点を試料表面に合わせた時点での試料の高さと、対物レンズの焦点を試料表面に形成されたくぼみに合わせた時点での試料の高さを比較し、各時点における試料の高さの差が所定の範囲以上であれば、くぼみの焦点合わせが正しく実施できなかったと判別する。

請求項（抜粋）：

対物レンズを介して試料の表面を照射する光源と、前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に沿って移動させる移動手段と、前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を、前記移動手段により移動させて前記対物レンズの焦点合わせを行う自動焦点合わせ手段と、を有する硬さ試験機において、前記自動焦点合わせ手段により、前記対物レンズと前記試料表面の第1の焦点合わせ、および前記対物レンズと前記試料表面に形成されたくぼみの第2の焦点合わせを実施し、各焦点合わせにおける試料高さ位置を取得する取得手段と、前記取得手段により取得した前記第1の焦点合わせにおける試料高さ位置と、前記第2の焦点合わせにおける試料高さ位置との差が所定の範囲を超えた場合に、前記第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別する判別手段と、前記判別手段により前記第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別した場合に、当該くぼみの測定データを不採用データとするデータ選択手段と、を備えることを特徴とする硬さ試験機。

IPC (5件)：

G01N 3/42 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/26

FI (5件)：

G01N 3/42 Z ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/26 ,  G02B 7/11 D ,  G02B 7/11 H

Fターム (6件)：

2H051AA00 ,  2H051BA47 ,  2H052AC04 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AF02