特許

J-GLOBAL ID：200903022526594621

ウエハ支持部材及びこれを用いる両頭研削装置

発明者： 磯部 章 ,  冨田 良幸 ,  岩瀬 昭雄 ,  原 一敬 ,  古川 竜治 ,  永田 浩 ,  塚原 真一郎
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313010
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124167
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 キャリア方式を採用する両頭研削装置に好適に用いることができ、コスト低減を図りかつ取扱も容易なウエハ支持部材を提供する。【解決手段】 ノッチ部WNを有するウエハWの外周部に、分割支持材10A〜10Cを複数配設して前記ウエハWを支持するようにしたウエハ支持部材であって、前記分割支持材10A〜10Cのうち前記ウエハWのノッチ部WNと係合する突起部10aを有するものはキャリアに固定され、他の分割支持材10A〜10Cの少なくとも1つが移動可能とされている。

請求項（抜粋）：

ノッチ部を有するウエハの外周部に、分割支持材を複数配設して前記ウエハを支持するようにしたウエハ支持部材であって、前記分割支持材のうち前記ウエハのノッチ部と係合する突起部を有するものはキャリアに固定され、他の分割支持材の少なくとも1つが移動可能とされていることを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (5件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 631 ,  B24B 7/17 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 631 ,  B24B 7/17 Z ,  H01L 21/68 N

Fターム (15件)：

3C043BC07 ,  3C043CC04 ,  3C043CC11 ,  3C043DD05 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA11 ,  5F031DA13 ,  5F031HA09 ,  5F031HA25 ,  5F031HA59 ,  5F031MA22 ,  5F031PA06 ,  5F031PA07 ,  5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研削加工方法及び平面研削盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-251296   出願人：株式会社日平トヤマ