特許
J-GLOBAL ID：200903022526610929
電子放出素子、電子源、表示素子及び画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115432
出願日： 1995年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 電子放出部形成用薄膜の製造工程を簡略化して形成される電子放出部形成用薄膜の膜厚を均一化し、低コストで安定な電子放出特性を有する電子放出素子の製造方法、及びそれを用いた電子源、表示素子および画像形成装置の製造方法を提供する。【解決手段】 対向する電極間に導電性薄膜形成用材料溶液を液滴の状態で付与した後加熱焼成する工程を経て電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法において、前記導電性薄膜形成用材料溶液が有機金属化合物とエーテルを含む水溶液であることを特徴とする電子放出素子の製造方法並びに該電子放出素子を用いた電子源、表示素子及び画像形成装置の製造方法。
請求項（抜粋）：
対向する電極間に導電性薄膜形成用材料溶液を液滴の状態で付与した後加熱焼成する工程を経て電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法において、前記導電性薄膜形成用材料溶液が有機金属化合物とエーテルを含む水溶液であることを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 B
, H01J 31/12 C
