特許
J-GLOBAL ID：200903022534373120
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344893
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196548
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 溶射したセラミック膜の細孔に樹脂を含浸させることにより、耐電圧を高めて試料の保持力が高い、また試料を確実に保持し得る静電チャックを提供すること。【構成】 載置台1は金属円板電極2とその表面にセラッミク材を溶射した絶縁膜の細孔に樹脂を含浸させた封孔絶縁膜3とから構成されており、載置台1の中央裏面側には端子4が突設されている。載置台1は、その表面略中央に凹部を有する水冷ジャケット6の該凹部に載置台1の略下半分を嵌合させている。水冷ジャケット6の凹部中心部に形成した穴には下端にフランジ部5aを設けた絶縁筒5が嵌合しており、この絶縁筒5には端子4がフランジ部5aからねじ部4aの略半分を突出して挿入されている。絶縁筒5及び水冷ジャケット6は、端子4のねじ部4aにナット7を螺合し、その締付によって載置台1に密着されるべくなされており、水冷ジャケット6に密着された載置台1は水冷ジャケット6内に配設され通流孔6aへの冷媒の通流によって冷却されるべくなされている。
請求項（抜粋）：
導電体にセラミック材を溶射してなる絶縁膜を前記導電体に被覆してあり、被吸着物と前記導電体との間に直流電圧を印加して前記被吸着物を吸着すべくなした静電チャックにおいて、前記溶射により生じた前記絶縁膜の細孔に樹脂を含浸してある前記導電体を具備することを特徴とする静電チャック。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, B65H 9/08
, C04B 41/45
, C30B 25/12
, H02N 13/00
