特許
J-GLOBAL ID：200903022542006055
研磨装置への研磨剤の供給方法とその供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280906
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106478
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 研磨装置への研磨剤の供給方法において、砥粒の1つ1つを確実に分散させた状態で研磨装置へ供給できる供給方法とその装置の提供。【構成】 研磨剤は集中タンクから主配管4を通り枝配管5から研磨装置6へ供給されるが、研磨装置6の分配皿7の近傍の枝配管5に超音波振動器8を付設し、これを作動させることにより、枝配管5内を通過する研磨剤に所定の振動が加えられ、研磨剤中の砥粒が相互に離反分散して分配皿7に落下し、さらに分配管9より上定盤10を通して上下定盤間に供給され、研磨剤中の砥粒を相互に離反分散して供給することができる。
請求項（抜粋）：
被研磨材と研磨定盤との間に研磨剤を供給して研磨を行う研磨装置への研磨剤の供給方法において、研磨装置の近傍に配設された研磨剤供給管に超音波振動器または機械的加振器を付設し、研磨装置に供給直前の研磨剤に直接あるいはネットまたはフィルターを介して振動を与え、研磨砥粒を分散させて供給することを特徴とする研磨装置への研磨剤の供給方法。
IPC (3件)：
B24B 57/02
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
