特許
J-GLOBAL ID：200903022558737262
塗布液の流量制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086447
公開番号（公開出願番号）：特開平7-289981
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】塗布液の塗布装置への供給開始時に減圧泡の発生しない流量制御方法を提供する。【構成】塗布液供給開始時の該塗布液の流量制御方法において、該塗布液の流量を調節する弁が全閉の状態から徐々に弁開度を上げ、設定流量に到達するようにしたことを特徴とする塗布液供給開始時の流量制御方法。
請求項（抜粋）：
塗布液供給開始時の該塗布液の流量制御方法において、該塗布液の流量を調節する弁が全閉の状態から徐々に弁開度を上げ、設定流量に到達するようにしたことを特徴とする塗布液供給開始時の流量制御方法。
IPC (2件)：
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