特許

J-GLOBAL ID：200903022564392722

研磨装置

発明者： 平原 康次
出願人/特許権者： ヤスハラ株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247182
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071252
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 シンプルな機構にして軽量化を図り、研磨ディスクと操作ローラーの位置関係を広範囲、かつ、微細に調整可能にした研磨装置を提供する。【解決手段】 駆動手段11の前面に、その回転軸14と平行な軸上に間隔をあけて二個の垂直軸受け15を設け、同駆動手段11の両側に、その回転軸14に対し直角な軸上に水平軸受け16を設け、上記垂直軸受け15の間に隙間をあけてウォーム19を嵌め、このウォーム19の中心孔18と垂直軸受け15に亘ってバネ座21とバネ22を嵌め上端にノブ20を設けた垂直軸23を嵌挿してウォーム19と垂直軸23とを固定し、上記水平軸受け16に水平軸24を回転可能に嵌挿し、この水平軸24にセクタギヤー25を嵌めて上記ウォーム19に噛合させて固定し、上記水平軸24の後方延長部を折り返してローラー軸27とし、この軸27にローラー28を回転可能に嵌めてなる。

請求項（抜粋）：

研磨ディスクを回転させる駆動手段の前面に、その回転軸と平行な軸上に間隔をあけて二個の垂直軸受けを設け、同駆動手段の両側に、その回転軸に対し直角な軸上に水平軸受けを設け、上記垂直軸受けの間に隙間をあけてウォームを嵌め、このウォームの中心孔と垂直軸受けに亘ってバネ座とバネを嵌め上端にノブを設けた垂直軸を嵌挿してウォームと垂直軸とを固定し、上記水平軸受けに水平軸を回転可能に嵌挿し、この水平軸にセクタギヤーを嵌めて上記ウォームに噛合させて固定し、上記水平軸の後方延長部を折り返してローラー軸とし、この軸にローラーを回転可能に嵌めてなる研磨装置。

Fターム (8件)：

3C058AA04 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AC01 ,  3C058BA07 ,  3C058BB03 ,  3C058BC02 ,  3C058CB05